分类：半导体 | 型号：LODAS-DOA
可同时检测掩模基板的正反面以及内部缺陷，采用双光学轴专用激光进行缺陷检测，由一个光学轴进行表面的检测，再由另一个光学轴进行内部和背面的检测，过去内部缺陷（气泡）主要依赖目视检测，通过 DOA 现在可以进行定量缺陷检测。
尺寸：宽 1,780×长 1,130×高 1,906（毫米）约 900 公斤
检测规格：×5 倍物镜，※同样适配×10 倍物镜。关于详细规格，欢迎垂询。
| 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|
| 检出灵敏度 | 表面：0.15 微米 PDM，内部：3 微米 PDM（1.5 微米分辨率） | ×5 倍物镜 |
| 缺陷检查面精度 | 0.2 微米 PDM（最小分辨率） | DCM、×20 倍物镜 |
| 检查掩模的尺寸 | 620mm mask | |
| 检测时长（1 片） | 20 片/每小时 |